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        日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

        簡要描述:
        日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵
        通過與干式真空泵、油旋轉真空泵或水封真空泵一起使用,機械增壓泵可以將抽速提高到 10kPa 至 0.1 Pa 之間,此時粗抽泵的抽速會下降?!癕odel:PRC" 專為特別需要清潔度的半導體和液晶顯示器工藝而設計??梢赃x擇大氣壓啟動類型作為選項。

        更新時間:2025-06-20

        訪問量:21

        廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

        型號:PRC-003A

        品牌ULVAC/日本愛發(fā)科應用領域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

        日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

        日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵


        特征

        油 泵殼內(nèi)無油,即使在排出水蒸氣或溶劑蒸氣時也能保持穩(wěn)定的性能。

        屏蔽電機

        使用屏蔽電機可以避免在大氣和真空之間使用機械密封。它可以在清潔的環(huán)境中使用,無需擔心漏油。

        優(yōu)異的耐腐蝕性 表面處理

        主要部件的表面硬度和耐腐蝕性的陽極氧化涂層可以防止泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕??梢赃x擇非表面處理作為選項。

        用于較短抽真空的常壓啟動型(選項:變頻器)與標準型相比,該類型可以縮短抽氣時間,因為泵與粗抽泵同時啟動。

        應用

        • 蒸發(fā)、濺射、離子電鍍、真空干燥機、冷凍干燥機、真空脫氣

        • 分析儀器、泄漏測試系統(tǒng)、氣體交換、填充、真空絕熱

        • 熱處理、熔化爐

        • 其他各種真空系統(tǒng)

        規(guī)格

        型號 *1PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
        最大抽速
        50 赫茲280米3/h
        (4670 升/分鐘)
        500 米3/h
        (8330 升/分鐘)
        1000 米3/h
        (16700 升/分鐘)
        1500米3/h
        (25000 升/分鐘)
        60 赫茲330 米3/h
        (5500 升/分鐘)
        600米3/h
        (10000 升/分鐘)
        1200米3/h
        (20000 升/分鐘)
        1800 米3/h
        (30000 升/分鐘)
        最大吸入
        壓力
        50 赫茲1.2 x 103帕1.3 x 103帕1.2 x 103帕
        60 赫茲約9.3 x 102帕1.1 x 103帕約9.3 x 102帕

        最大允許壓

        50 赫茲4.0 x 103帕7.3 x 103帕4.3 x 103帕
        60 赫茲3.3 x 103帕6.0 x 103帕3.2 x 103帕
        極限壓力 *24.0 x 10-1帕6.7 x 10-1帕
        允許的驅(qū)動壓力~1.0 x 105Pa(常壓啟動型)
        電機 *3電機類型Cand 三相感應電動機
        能效
        等級
        權力0.75 kW(2 極)2.2 kW(2 極)3.7 kW(2 極)5.5 kW(2 極)

        電壓
        (200V
        級)
        50 赫茲200 伏
        60 赫茲200/220 伏
        油 *4
        ULVOIL R-42
        油量0.7 升1.5 升1.9 升
        冷卻方式水冷
        冷卻
        一次側
        壓力
        0.3 米帕
        入口/出口
        壓力差異
        l 壓力
        體積
        0.01 Mpa以上
        冷卻水
        容量
        2 升/分鐘3 升/分鐘
        冷卻水
        溫度 *5
        5 ~ 30 °C
        入口 JIS-B-2290相當于 VG80 /
        ISO80F 或 ISO100F(可選)

        相當于 VG100 /
        ISO100F
        (可選)

        相當于 VG150 /
        ISO160F
        (可選)
        出口 JIS-B-2290相當于 VF80 / ISO80F 或 ISO100F(可選)
        相當于 VF100 /
        ISO100F
        (可選)
        尺寸 W×D×H *6296×575×260
        毫米
        356×619×320
        毫米
        406×759×340
        毫米
        406×989×340
        毫米
        重量51 千克86 千克118 千克150 千克
        標準粗抽泵VD601 系列VD901 系列
        VS2401 系列
        VS2401 系列
        適用標準-
        標準附件一劑油,一套手冊
        選擇無表面處理的泵、適配器法蘭、
        常壓啟動型(變頻器)、

        注)本規(guī)范使用 SI 測量單位。轉換為非 SI 單位如下:
        4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr

        *1 標準型號為表面處理(陽極氧化涂層)。
        可選,無表面處理模型可供選擇。
        *2 使用標準前級泵和標準真空油的皮拉尼真空計測量。
        *3 防爆法蘭電機(增安型和隔爆型外殼型)
        無法選擇。
        *4 油選項 : 可選,氟油 (J25F) 類型可選擇。
        *5 在沒有冷凝的環(huán)境中使用。
        *6 有關其他尺寸,請訪問 ULVAC 網(wǎng)站并參考發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。

        抽速曲線

        PRC-003A/006A 系列日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵PRC-012A/018A 系列日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵


        尺寸圖

        日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

        PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
        W296356406406
        D575619759989
        H260320340340



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